সেমিকন্ডাক্টর গ্যাস ডেলিভারি: 316L EP বনাম ইলেক্ট্রোপলিশড UNS N10276

সেমিকন্ডাক্টর গ্যাস ডেলিভারি সিস্টেমে, টিউবিংয়ের ভেজা পৃষ্ঠটি প্রক্রিয়াটির অংশ। পাইপের প্রাচীর থেকে কণা, ধাতব দূষণ এবং আউটগ্যাসিং উন্নত নোডগুলিতে সরাসরি ফলনকে প্রভাবিত করে। ইলেক্ট্রোপলিশড 316L (UNS S31603, EN 1.4404) এবং ইলেক্ট্রোপলিশড নিকেল-ভিত্তিক UNS N10276 দুটি প্রতিষ্ঠিত কর্মক্ষমতা স্তরের প্রতিনিধিত্ব করে: 316L-জড় এবং নন-ক্ষয়কারী গ্যাস পরিষেবার জন্য EP, এবং UNS N10276 এবং UNS N10276-এর জন্য ক্ষয়কারী গ্যাস পরিষেবা।

কেন সারফেস ফিনিশ গ্যাসের বিশুদ্ধতা নির্ধারণ করে

একটি ইলেক্ট্রোপলিশড পৃষ্ঠ যান্ত্রিকভাবে পালিশ করা পৃষ্ঠের চেয়ে মসৃণ এবং রাসায়নিকভাবে পরিষ্কার। ইলেক্ট্রোপলিশিং বিরক্তিকর পৃষ্ঠের স্তরকে সরিয়ে দেয়, এম্বেড করা কণাগুলিকে দ্রবীভূত করে এবং একটি ক্রোমিয়াম- বা নিকেল-সমৃদ্ধ পৃষ্ঠ ছেড়ে দেয় যা কম প্রজাতিকে গ্যাস প্রবাহে ছেড়ে দেয়। গ্যাস সরবরাহের জন্য, রুক্ষতা, কণা ঝরানো, ধাতব দূষণ এবং আউটগ্যাসিং তাই স্পেসিফিকেশন আইটেম, আনুষঙ্গিক বৈশিষ্ট্য নয়।

316L-জড় এবং অ{2}}ক্ষয়কারী গ্যাসের জন্য ইপি

316L এর ইলেক্ট্রোপলিশিং 0.15 μm এর নিচে একটি অভ্যন্তরীণ পৃষ্ঠের রুক্ষতা Ra অর্জন করে এবং 0.1 μm এর উপরে প্রতি ঘনফুট প্রতি 5 কণার নিচে কণা ঝরানো হয়। 99.9995% বিশুদ্ধতায় নাইট্রোজেন এবং আর্গন ডেলিভারির জন্য বৈধ হওয়া সিস্টেমগুলি হল আদর্শ অনুশীলন। যেহেতু 316L একটি মলিবডেনাম-বিশিষ্ট অস্টেনিটিক গ্রেড, এটি পিটিং ছাড়াই ট্রেস আর্দ্রতা এবং অবশিষ্ট পরিস্কার এজেন্টকেও সহ্য করে। অর্থনৈতিক সুবিধা উল্লেখযোগ্য: 316L-ইপি টিউবিংয়ের দাম সাধারণত নিকেল-একই সারফেস ভিত্তিক বিকল্প-ফিনিশ সার্টিফিকেশন স্তরের প্রায় 40% কম।

হাইড্রাইড এবং ফ্লোরিন পরিষেবার জন্য UNS N10276

হাইড্রাইড গ্যাস যেমন আর্সাইন (AsH3) এবং ডাইবোরেন (B2H6), এবং ফ্লোরিন যৌগগুলি অনুঘটকভাবে লোহা-বাহী পৃষ্ঠে পচে যায় এবং স্ট্যান্ডার্ড স্টেইনলেস স্টিলকে আক্রমণ করে। UNS N10276-এ 15-17% মলিবডেনাম রয়েছে, যা পণ্যগুলির দ্বারা হাইড্রোজেন ফ্লোরাইড থেকে-পিট করতে বাধা দেয় এবং অনুঘটক পচন রোধ করতে এর পৃষ্ঠের আয়রনের পরিমাণ 0.01% এর নিচে নিয়ন্ত্রণ করা হয়। উপাদানটি গ্যাস প্যানেল এবং লাইনগুলির জন্য উন্নত-নোড তৈরি এবং অন্যান্য প্রক্রিয়াগুলির জন্য নির্দিষ্ট করা হয়েছে যেখানে ট্রেস মেটাল রিলিজ প্রক্রিয়াটির জন্য মারাত্মক হবে।

দূষণ এবং আউটগ্যাসিং সীমা

প্যারামিটার	গ্রহণযোগ্যতার মানদণ্ড
সারফেস সোডিয়াম 72-ঘন্টা এক্সপোজার পরে	0.01 পিপিবি এর নিচে
ব্যবহারের পয়েন্টে সারফেস আয়রন	0.05 পিপিবি এর নিচে
মোট ভারী ধাতু (Ni + Cr + Mo)	0.1 পিপিবি এর নিচে
ভ্যাকুয়াম বেক করার পর আউটগ্যাসিং	5 x 10-11 torr·L/(s·cm2) এর নিচে

এই পরিসংখ্যানগুলি গ্যাস সরবরাহকারী উপাদান সরবরাহকারীদের দ্বারা ব্যবহৃত সাধারণ যোগ্যতার লক্ষ্য এবং নীচে বর্ণিত বিশ্লেষণাত্মক পদ্ধতি দ্বারা যাচাই করা হয়।

ঢালাই প্রোটোকল এবং বৈধতা ক্রম

অরবিটাল গ্যাস টাংস্টেন আর্ক ওয়েল্ডিং 99.999% বা আরও ভাল আর্গন শোধনের সাথে ব্যবহার করা হয়, অক্সিজেন 20 পিপিএম-এর নিচে রেখে। সংবেদনশীলতা এবং ডেল্টা ফেরাইট গঠন রোধ করতে হিট ইনপুট প্রতি ইঞ্চি 15 kJ এর নিচে সীমাবদ্ধ, এবং জয়েন্টটি পরিবেষ্টিত তাপমাত্রায় ঠান্ডা না হওয়া পর্যন্ত অভ্যন্তরীণ শোধন বজায় রাখা হয়। প্রতিটি জোড় বা সমাবেশের জন্য 1 x 10-9 mbar·L/s এর নিচে হিলিয়াম লিক টেস্টিং বাধ্যতামূলক। একটি সম্পূর্ণ লুপের যোগ্যতা বিভিন্ন কৌশলকে একত্রিত করে: পৃষ্ঠের ধাতুগুলির জন্য ইন্ডাকটিভলি কাপলড প্লাজমা ভর স্পেকট্রোমেট্রি (VPD-ICP-MS), সময়--ফ্লাইট সেকেন্ডারি আয়ন ভর স্পেকট্রোমেট্রির জন্য বাষ্প ফেজ পচন, (TOF3 ম্যাস কাউন্টিং বা টোফ ম্যাস প্রতি পার্টস) IEST-STD-CC1246D ক্লাস 5, এবং 400 ডিগ্রি সিমুলেটেড পরিষেবা তাপমাত্রায় গ্যাসের পচন বিশ্লেষণ। সম্পূর্ণ ক্রম পাস করা নিশ্চিত করে যে লুপ সরবরাহ করা গ্যাস রসায়নকে অবনমিত করবে না।

FAQ

প্রশ্ন ১. গ্যাস সরবরাহের জন্য কখন 316L-EP যথেষ্ট?

নাইট্রোজেন, আর্গন এবং উচ্চ বিশুদ্ধতায় অন্যান্য জড় বা হালকা প্রতিক্রিয়াশীল গ্যাসের জন্য, যেখানে প্রক্রিয়াটি হাইড্রাইড, হ্যালোজেন বা ফ্লোরিন যৌগকে জড়িত করে না।

প্রশ্ন ২. কখন UNS N10276 প্রয়োজন?

হাইড্রাইড গ্যাসের জন্য যেমন AsH3 এবং B2H6, ফ্লোরিন যৌগ এবং অন্যান্য রসায়ন যা লোহার পৃষ্ঠে পচে যায় বা -পণ্য দ্বারা হাইড্রোজেন ফ্লোরাইড তৈরি করে।

Q3. ইলেক্ট্রোপলিশড 316L কী রুক্ষতা অর্জন করে?

অভ্যন্তরীণ পৃষ্ঠে 0.15 μm এর নিচে Ra, 0.1 μm এর উপরে প্রতি ঘনফুট প্রতি 5 কণার নিচে কণা ঝরানো।

Q4. কিভাবে পৃষ্ঠ দূষণ পরিমাপ করা হয়?

VPD দ্বারা-ICP-ধাতুর জন্য MS এবং TOF-সিমসের জন্য জৈব; গ্রহণযোগ্যতার সীমা সাধারণত 0.1 পিপিবি মোট ভারী ধাতু ব্যবহারের সময় নিচে থাকে।

প্রশ্ন 5. গ্যাস ডেলিভারি ওয়েল্ডের জন্য কি লিক হার গ্রহণযোগ্য?

হিলিয়াম লিক টেস্টিং অবশ্যই 1 x 10-9 mbar·L/s এর নিচে দেখাতে হবে।

প্রশ্ন ৬. UNS N10276 এর দাম কি 316L এর চেয়ে অনেক বেশি?

ইলেক্ট্রোপলিশড 316L একই সার্টিফিকেশন স্তরে নিকেল ভিত্তিক বিকল্পগুলির তুলনায় সাধারণত প্রায় 40% কম ব্যয়বহুল, তাই UNS N10276 একটি সংশ্লিষ্ট প্রিমিয়াম বহন করে, যেখানে প্রক্রিয়া রসায়ন এটির দাবি করে।